薄膜介電常數及損耗測試儀是一款針對薄膜測試的專用設備，測試薄膜介電常數及損耗需要特制的夾具，通過軟件可以采集到介損（tgd）及介電常數（ε）器件的介電性能測量與分析，可測試以下參數隨頻率(f)、電平(V)、偏壓(Vi)的變化規律：電容(C)、電感(L)、電阻(R)、電抗(X)、阻抗(Z)、相位角(Ø)、電導(B)、導納(Y)、損耗(D)、品質因數(Q)等參數，同時計算獲得反應材料介電性能的復介電常數和損耗參數。

其采用了西林電橋的經典線路。主要可以測量電容器，互感器，變壓器，各種電工油及各種固體絕緣材料在工頻高壓下的介質損耗( tgd)和電容量( Cx)以，其測量線路采用“正接法"即測量對地絕緣的試品。電橋由橋體、指另儀、跟蹤器組成，本電橋特別適應測量各類絕緣油和絕緣材料的介損（tgd）及介電常數（ε）。

三電極結構設計：

微調千分尺：微調千分尺具備0.001mm的調節精度，可精細化調節上下電極之間的距離。

平行板測試電極：下電極固定在底部支撐座，上電極可由微調千分尺調節行程距離。上電極帶有保護電極。

上電極片：上電極標配有2mm球頭電極、φ26.8mm圓片電極和φ38mm圓片電極。可根據樣品大小隨時更換。

鎖緊裝置：當樣品放入上下電極之間后，可調節此鎖緊裝置，固定上下電極的調節行程。防止輕微移動引起的刻度偏差。