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在高阻抗和低電流測量領域，Keithley吉時利6514型靜電計是重要儀器。它能夠從三個敏感選項中進行選擇，實現J確的測量。其5½位精度，1fA的靈敏度以及大于200TΩ的輸入阻抗，使其在電壓測量方面表現出色。此外，它還能夠測量低至10fC的電荷。